光源系统!
汉斯的心脏像是被一只手狠狠攥住!
他虽然无法看清全貌,但那暴露出的部分结构他还是认出了一些。
可虽然认出来了,却还是陌生。
那独特的能量耦合接口。
非传统的冷却回路设计。
以及某种他从未在任何文献或产品中见过的光束整形组件。
每一处都散发着一种超越现有科技水平,令人心悸的气息!
其复杂程度和集成度,远不是asl引以为傲的euv光源可比!
这……这是什么?!
就在他震惊得几乎无法思考时,他马上看到了站在那台改装光刻机控制台前的一群人。
魏天华和陈进一果然在这里!
他们身边还站着一位神情专注、头发有些凌乱的中年工程师(严正行)。
但让汉斯瞳孔骤然收缩的,是站在魏天华他们对面的那个人!
那人穿着一身笔挺的西装,气质儒雅,手里拿着一个平板电脑,正指着屏幕上的数据与魏天华等人热情交流。
汉斯认得这张脸!
他是国际专利合作条约(pct)组织的高级专利审查官,戴维·诺顿!
一个专门负责审查全球范围内最尖端,最具商业潜力技术专利的权威人物!
pct的审查官?!
他为什么会在这里?!
在这个被军方严密守护的核心实验室里?!
一股冰冷的寒意瞬间从汉斯的脚底窜上头顶!
他猛地意识到,魏天华刚才那个神秘电话里的“诺顿先生”是谁!
那个“令人惊叹”、“价值极高”的专利审查……
指的莫非就是眼前这台古怪光刻机里,那个前所未见的光源系统!
汉斯的心脏狂跳,几乎要冲破胸膛。
他贪婪地透过那道宝贵的观察窗缝隙向内窥视,目光死死锁定在超净间内部。
那台被改装的ssa60020光刻机并未停止工作!
它正发出低沉而稳定的嗡鸣,机械臂流畅地运送着晶圆。
而在光刻机周围,除了海微的工程师,还有好几位佩戴着pct徽章的工作人员!
他们手持平板或专业记录设备,围着那台暴露了部分内部结构的光刻机,脸上无一例外地写满了惊叹和难以置信!
他们正与海微的工程师们热烈地交流着,手指不断指向那奇特的光源结构和机器运行的实时数据。
神情激动,如同发现了新大陆的探险家。
pct专员!
不止一个!
他们在现场审查!
就在这机器运行时!
汉斯感觉自己快要窒息了。