一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心脏上的嗡鸣声骤然响起!
紧接着,所有人的目光都被样机的心脏部位吸引过去。
那里,一个被多层复杂管道包围的区域,一道光在无声中骤然亮起!
那道光只能在光谱仪看见。
介于幽紫与深蓝之间,带着一种非自然的冰冷质感。
它的光亮异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。
“波长稳定……134纳米!误差低于001!”
在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊。
“能量输出稳定!转化效率317!天啊!”
旁边一个年轻的技术员看着仪表盘,失声惊呼。
317!
这个数字如同惊雷在控制室里炸开!
所有人都知道这意味着什么。
意味着这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全球所有光源系统碾压式的超越!
它成功粉碎了现有的物理和工程极限!
那束深邃的极紫外光持续稳定地输出着,为整个光刻系统提供着纯净的画笔!
“开始曝光测试!”
严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中。
指令连续下达。
样机内部,精密的光学组件开始工作。
那束凝聚的极紫外光被引导→分束→投射!
承载着电路图案的掩模板被精准定位。
下方,是一片预先处理好的硅晶圆。
时间在紧张到近乎凝固的气氛中流逝。
只有机器的低鸣、风扇的嗡响和仪器数据刷新的滴答声。
所有人屏气凝神。
终于。
“曝光完成!传送至显影蚀刻单元!”
又是一段漫长的等待。
魏天华双手紧紧抓着控制台的栏杆,额间已冒出了冷汗,眼睛却一眨不眨地盯着处理单元的出口。
当那片经过最终处理的硅晶圆被机械臂小心翼翼地取出,送入高倍电子显微镜下。
控制室里只剩下粗重的呼吸声。
巨大的屏幕上,高倍显微图像被清晰地投射出来。
线条!
无比清晰,间距极小的电路线条!
图像旁边,测量软件自动标注出关键数据:
线宽:72纳米!
套刻精度:18纳米!
“成了……真的成了……”
魏天华喃喃自语,声音哽咽。
他缓缓松开抓着栏杆的手,身体微微摇晃了一下。
这位在半导体行业摸爬滚打了一辈子,看尽了白眼和封锁的老总,此刻再也控制不住。
滚烫的泪水冲出眼眶,顺着他布满皱纹的脸颊滑落。
技术壁垒此刻在这清晰的线条面前,被击得粉碎!
四十年追赶的屈辱,无数次被卡脖子的绝望,无数个日夜的殚精竭虑……
所有的情绪都化作了这两行滚烫的热泪。
严正行挺直了腰板,那浓重的疲惫被瞬间驱散。
他摘下护目镜,用力揉了揉布满血丝的眼睛。